溝精度測定システム

[ 形式:QB-101型 ]
溝精度測定システム

測定システムの概要

円筒状ワークの端面に円筒中心基準に等分割(2~12分割)に加工された微少幅の溝の形状及び加工データを測定するものです。
実際のワークの溝幅は0.8~2.0mmと非常に小さい為,汎用の3次元測定機では不可能な測定を専用精密位置決めステージと32bitパソコンにて,正確測定と自動測定を達成しています。又,センシング機構も特殊フィーラーと2ケの0.1μm分解能のセンサーによる自動補正演算により,フィーラーのたわみや誤差を削減する高精度な測定を行って各種測定精度保証を行っています。

概略仕様

1)一般諸仕様 ・電  源 AC100V±5%,50/60Hz,200VA
・エアー源 5kg/cm2~9kg/cm2のクリーンエアーのこと
・使用環境 室温:20℃±5℃ 湿度:80%RH以下
2)精度保証 ・溝   幅 ±1μm以下
・溝幅平行度 1μm以下
・溝幅直角度 1μm以下
・溝分割角度 ±30角度秒
・溝向芯度 ±1角度分
・形状線図 (横倍率×20,×50選択)
(縦倍率×200,×500選択)
(向芯度補正有無選択)

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