超精密直角基準器

[ 形式:PRECISION SQUARE ]
超精密直角基準器
  • 各種工作機械、半導体関連設備、検査装置などの各軸の直角検査用マスタとして使用できます。
  • X-Y軸の組立調整時の直角基準として使用できます。
  • 機械部品の検査マスタとして使用できます。
  • 使用面は精密ラッピング仕上げです。
  • 精度面は外角使用面のみです。
  • 焼入品
コードNO. 呼び 寸法(H×L×W×tmm) 外角直角度(μm) 質量(kg)
FG-1001 100 100×70×25×8 1.0 0.2
FG-1002 150 150×100×30×8 1.0 0.3
FG-1003 200 200×130×35×11 1.0 0.7
FG-1004 300 300×200×40×15 1.0 1.8
FG-1005 500 500×300×55×20 2.0 6.5
FG-1006 600 600×350×60×23 2.0 9.0
FG-1007 750 750×400×65×25 2.0 11.5
FG-1008 1000 1000×500×70×28 2.0 18.0

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